AS-MLV-P2 数据手册——用于VOC检测的MEMS MOS气体传感器组件

更新时间 2019-03-02

AS-MLV-P2高性能传感器组件对挥发性有机化合物非常敏感,可以对室内空气质量进行卓越的监测。 采用薄膜,厚膜和其他正在申请专利的专利技术相结合的方式生产。 AS-MLV-P2组件采用最高设计效率的封装。 加热器和数字电极结构放置在大约一微米的薄LPCVD氮化硅膜上,以实现尽可能低的功耗。


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